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半導體

在現代化的晶圓制造車間,數以千計的冷卻以及溫度控制設備7*24小時馬不停蹄地運轉著,為高精度的半導體制造設備提供精密而穩定的工作溫度,以確保停產時間變少。iYTRON 公司為以下半導體制造設備提供訂制化的精密冷卻及溫控方案:

※ 蝕刻設備(etching)
※ 化學氣相沉積設備(MOCVD,PECVD)
※ 離子注入機(ion implanting)
※ 自動化測試設備(ATE)


iYTRON 所設計生產的熱控設備在寬泛的運行溫度區間(-80℃ - 150℃)仍能提供異常準確的溫度控制(±0.1℃),同時所有的設備的溫度控制模塊均可基于SEMI S2或者F47標準設計生產。

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