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冷媒循環冷卻系統 (RCS)

冷媒循環冷卻系統(RCS)主要應用環境特征:

※ 1~10KW的發熱量
※ 客戶端不具備廠務水條件
※ 環境溫度可控
※ 溫控精度要求高

※ 需要極低的工作溫度


RCS系統建議工作原理圖




用于晶圓制造流程前道設備冷卻的RCS系統




iYTRON Arctic系統RCS系統技術參數表:


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