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冷媒循環(huán)冷卻系統(tǒng) (RCS)

冷媒循環(huán)冷卻系統(tǒng)（RCS）主要應(yīng)用環(huán)境特征：

※ 1~10KW的發(fā)熱量
※ 客戶端不具備廠務(wù)水條件
※ 環(huán)境溫度可控
※ 溫控精度要求高

※ 需要極低的工作溫度

RCS系統(tǒng)建議工作原理圖

用于晶圓制造流程前道設(shè)備冷卻的RCS系統(tǒng)

iYTRON Arctic系統(tǒng)RCS系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)表：

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